中國(guó)工程物理研究院開發(fā)的等離子體煙氣脫硫脫硝工業(yè)試驗(yàn)裝置，由12000Nm3/h煙氣處理量的電子束輻照煙氣脫硫脫硝工業(yè)化試驗(yàn)裝置和脈沖電暈放電脫硫脫硝工業(yè)試驗(yàn)裝置組成，二者共用煙氣參數(shù)調(diào)節(jié)和副產(chǎn)物收集裝置。裝置采用加氨的工藝流程，處理的煙氣來自自備燃電廠。

該裝置由煙氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、氨投加裝置、副產(chǎn)物收集裝置、測(cè)量控制系統(tǒng)、脈沖電暈放電處理系統(tǒng)等6個(gè)主要部分組成。來自電廠水膜除塵器前和水膜除塵器后的煙氣經(jīng)冷卻塔隆降溫增濕后，被送至反應(yīng)器中處理，同時(shí)噴入氨。處理后的煙氣被輸送至副產(chǎn)物收集裝置，其中的硫酸銨和硝酸銨被收集，處理后的煙氣則由煙囪排出。

該裝置是我國(guó)自行設(shè)計(jì)和建造的第一套工業(yè)化試驗(yàn)裝置。